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简单分析光学元件表面缺陷检测方法

作者: 来源: 日期:2019/6/20 9:19:43 人气:8923

        光学元件外表缺点,主要是指外表疵病和外表污染物。外表疵病是指抛光加工后的光学元件外表仍然存在的麻点、划痕、开口气泡、破边、破点等各种加工缺点,发生的原因主要是加工进程或后续的不妥操作。





  下面为我们介绍四种疵病划痕指光学元件外表长条形的划伤痕迹。由划痕长度的不同, 能够分为长划痕和短划痕, 以2 mm为边界, 若划痕长度大于2 mm归于长划痕,小于2 mm则是短划痕。关于短划痕,点评标准是其检测时的累积长度。相对而言划痕较麻点等缺点更简单检测出。


  麻点指光学元件外表上的陷坑、蚀坑、疵点, 其坑内的外表粗糙度较大, 宽度与深度大致相同, 边际也不规则。一般情况下, 规则长宽比大于4:1的缺点为划痕, 反之小于4:1的缺点为麻点。气泡是由光学元件的出产或加工进程中未及时扫除的气体所构成的, 因为各方向气体的压力均匀分布, 所以气泡的形状一般呈圆球形。


  破边是指出现在光学元件边际的疵病, 尽管处于光源有用区域之外, 可是也归于光的散射源, 对光学功能也会发生必定的影响, 所以也归于疵病领域。外表疵病作为一种加工进程中人为形成的微观部分缺点, 对光学元件的外表功能有着必定的影响, 然后有或许形成光学仪器运转过错等严峻的结果。总归, 光学元件的外表疵病会对光学系统功能发生损害, 其根本原因在于光的散射特性。